半導體特氣檢漏儀XP-703D
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 半導體特氣檢漏儀XP-703D
儀器名稱 半導體特氣檢漏儀XP-703D
產品品牌 日本新宇宙COSMOS
所屬類別 無損檢測 | 超聲波泄漏檢測儀
產品型號XP-703D
生產廠家日本新宇宙COSMOS
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 半導體特氣檢漏儀XP-703D簡要介紹
半導體特氣檢漏儀XP-703D
 半導體特氣檢漏儀XP-703D詳細介紹

半導體特氣檢漏儀XP-703D

半導體特氣檢漏儀XP-703D
特點:

¬   最適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。

¬   采用聲光報警。

 
規 格

       號

XP-703D

檢測對象氣體

半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)

檢測原理

熱線型半導體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度

(單位:ppm)

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍

應答速度

10秒以內

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