薄膜測厚儀SGC-10
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 薄膜測厚儀SGC-10
儀器名稱 薄膜測厚儀SGC-10
產品品牌 中美合資
所屬類別 無損檢測 | 測厚儀
產品型號SGC-10
生產廠家中美合資
優惠熱線15999953844 18078808824
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 薄膜測厚儀SGC-10簡要介紹
SGC-10薄膜測厚儀,適用于介質,半導體,薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。該薄膜測厚儀,采用new-span公司先進的薄膜測厚技術,基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學常數(折射率n,消光系數k)。它通過分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜,用相應的軟件來擬合運算,得到單層或多層膜系各層的厚度d,折射率n,消光系數k。該設備關鍵部件均為國外進口,也可根據客戶需要整機進口。
 薄膜測厚儀SGC-10詳細介紹
SGC-10薄膜測厚儀,適用于介質,半導體,薄膜濾波器和液晶等薄膜涂層厚度測量。該薄膜測厚儀,采用new-span公司先進的薄膜測厚技術,基于白光干涉的原理來測定薄膜厚度光學常數(折射率n,消光系數k)。它通過分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜,用相應的軟件來擬合運算,得到單層或多層膜系各層的厚度d,折射率n,消光系數k。該設備關鍵部件均為國外進口,也可根據客戶需要整機進口。

儀器特點

非接觸測量,用光纖探頭來接收反射光,不會破壞和污染薄膜;

測量速度快,測量時間為秒的量級;

3  可用來測薄膜厚度,也可用來測量薄膜折射率n和消光吸收k;

4  可測單層薄膜,還可測多層膜系;

5  可廣泛應用于各種介質,半導體,液晶等透明半透明薄膜材料;

6  軟件的材料庫中整合了大量材料的折射率和消光系數,可供用戶參考;

7  內嵌微型光纖光譜儀,結構緊湊, 光纖光譜儀也可單獨使用。

參數和性能指標

厚度范圍: 20nm-50um(只測膜厚),100nm-25um(同時測量膜厚和光學常數n,k)

準確度:     <1nm或<0.5%

重復性:     0.1nm

波長范圍: 380nm-1000nm

可測層數: 1-4層

樣品尺寸: 樣品鍍膜區直徑>1.2mm

測量速度: 5s-60s

光斑直徑: 1.2mm-10mm可調

 

儀器成套性

測厚儀主體(內含光源光纖光譜儀),光纖跳線,光纖探頭,標準硅片,支撐部件,配套軟件

可擴展性

通過光纖連接帶有C口的顯微鏡,就可以使本測量儀適用于微區(>10um)薄膜厚度測量。

 

強大的軟件功能

界面友好,操作簡便;

可保存測量得到的反射譜;

可讀取保存的反射率數據;

可選擇是否測量折射率n,消光系數k;

可選擇光譜范圍;

可猜測薄膜厚度以節省測量時間;

可從大量的材料庫中選擇薄膜和基底的材料;

用戶可自己擴充材料庫。

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